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PRODUCT

製品紹介

GN-PAD

GN-PAD(Gecko pad) と言う?

  • トカゲ(Gecko)足の裏の原理を理解しようとする研究開始(2002年8月)
  • UC Berkeley研究チームが600nm吸着剤を採用した粘着テープを初めて製造(Science Daily、2008年1月)
  • 数百万個の < 表面積を広げる200nm吸着盤が物体表面に付着できるほど十分な‘バンデルバルス力’を生成することができ、また、染みなしに容易に分離されことができます。 > 接着力調節

汚れ、残余物、アウトガッシング、接合体、反作用による滑り現象などがありません

GN- PAD 形相

GN- PAD 仕様

標準Size 注文製作Size
厚み 1.0 mm 0.4 mm ~ 5.0 mm
直径 10 mm 3 mm ~ 42 mm(形相は別で商談可能)
接着力 / pad 2.1 N/c㎡ 0.8 N/c㎡ ~6.9 N/c㎡ (90 /180° handling 可能)
お勧め水量 3 Pads on EFEM (for 300mm Wafer) お客様の要請にあれば, Vacuum Unitも一緒に使用可能
アプリケーション Molded on EFEM In mold, Screw/Nut mounted, with tape.
Warranty 1 year (人為的に損傷がない場合)

GN-PAD くらべ

厚さ
症状 GN-PAD O-rings passive Edge Grip Urethan PAD VACUUM Grip PAD
Slippage X O X O X
Brocken X X O X X
Holding Marks X O X O O
Maintenance X X X X O
Replacement X O X O O
Installation X X X X O
Cleaning X O X O O
Save Cost (Strong points: for 1 year free warranty)
  • No additional budget for a man power (Maintenance, P.M, Replacement).
  • No additional budget for the utilities. (Electronics, mechanical units: vacuum pump, suppling line)
  • No down time for the P.M, replacement, maintenance
  • No additional budget for the replacement of unit. (replacement time period for 1 year)
  • Short-time cleaning (Unnecessary for the G-none if it’s using in clean room environment)
  • Short-time Installation & replacement

GN-PAD 項目別 TEST

項目 TEST 条件 結果
Wafer & Pad Size 300mm Prime Wafer((厚み 775 um, 重さ 129g)) 標準 PAD Size(1mm 厚み x 10mm 直径)
接着力TEST(水平) Alignment Miss 無し,水平移動速度@ 10,000mm/sec 2.1N/c㎡ (1 Point), 6.3 N/c㎡ (3 Points) 水平接着力
接着力TEST(垂直) Alignment Miss 無し,垂直移動速度@ 500 mm/sec 2.1N ≤ 垂直接着力
再現性TEST@150,000 サイクル 汚染, パーティクル, 接着力変化無し@ (200 cycle/hr)*(24hrs)*(365 days) 実際の使用環境で100%のサンプル通過
汚染防止TEST Outgassing, 化学反応、摩擦無し。パーティクル流入時 Cleaning SOP IPA、N2 Blower、DI Waterを利用し手軽なクリーニング
耐化学性に優れ(IPA、アセトン36時間以上Test)
高温TEST 特性変化無し@ ~250˚C, Clean room (class < 1000) 5時間以上280̊Cまでの特性変化なし

GN-PAD 接着再現性TEST

GN-PAD Alignment test

GN- PAD actual applied product