반도체 장비의 EFEM 및 검사기 등에서 사용되는 반송용 대기 로봇으로 TAZMO사의 로봇을 수입판매 및 설치, 교육 및 Overhaul 등의 진행

반도체 공정 장비의 사용되는 진공 로봇으로 TAZMO사의 로봇을 수입판매 및 설치, 교육 및 Overhaul등의 진행

본 제품은 비접촉으로 웨이퍼의 flat 및 notch를 맞춰 centering을 고속으로 행하는 Aligner입니다. Edge Grip type의 Aligner도 판매를 하고 있음.

국내에서 개발하고 생산 판매되는 제품으로 기존의 사용하는 O-ring을 대체하는 제품으로 Wafer 또는 Glass을 반송할 때 사용하는 PAD로 Vacuum이나 Air의 공급없이 최대속도로 반송을 하여도 제품에 기스나 Slip, Demerge가 없이 반송하는 것이 가능하도록 만들어진 제품.
고객의 요청에 의해 형상 변경 가능