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PRODUCT

제품소개

GN-PAD

GN-PAD(Gecko pad) 란?

  • 도마뱀(Gecko) 발바닥의 원리를 이해하고자 하는 연구 시작 (2002년 8월)
  • UC Berkeley 연구팀이 600nm흡착제를 채택한 접착 테이프를 처음으로 제조 (Science Daily, 2008년 1월)
  • 수백만 개의 <표면적을 넓히는 200nm 흡착판이 물체 표면에 부착 할 수 있을 만큼 충분한 ‘반 데르 발스력'을 생성 할 수 있으며, 또한 얼룩 없이 쉽게 분리될 수 있습니다. > 접착력 조절

오염, 잔여물, 아웃가싱, 접작체, 반작용에 의한 밀리는 현상등이 없음

GN- PAD 형상

GN-PAD 사양

항목 표준 사이즈 주문 제작 사이즈
두께 1.0 mm 0.4 mm ~ 5.0 mm
지름 10 mm 3 mm ~ 42 mm( 형상은 별도 논의 가능)
접착력 / pad 2.1 N/c㎡ 0.8 N/c㎡ ~6.9 N/c㎡ (90 /180° handling 가능)
권장 수량 3 Pads on EFEM (for 300mm Wafer) 고객 요청 사항에 따름, Vacuum Unit 함께 사용 가능
애플리케이션 Molded on EFEM In mold, Screw/Nut mounted, with tape.
Warranty 1 year (인위적 손상이 없는 경우)

GN-PAD 비교

두께
항목 GN-PAD O-rings passive Edge Grip Urethan PAD VACUUM Grip PAD
Slippage X O X O X
Brocken X X O X X
Holding Marks X O X O O
Maintenance X X X X O
Replacement X O X O O
Installation X X X X O
Cleaning X O X O O
CoO 절감
  • 인건비 절감 (유지보수, P.M, 교체).
  • 유틸리티 추가 비용 절감 (Electronics, mechanical units: vacuum pump, suppling line)
  • P.M, 교체, 유지보수에 대한 down time 없음
  • 유닛 교체 추가 비용 절감 (교체 기간 1년)
  • Short-time cleaning
  • Short-time Installation & replacement

GN-PAD 사양

항목 테스트 조건 결과
Wafer & Pad Size 300mm Prime Wafer (두께 775μm, 무게 129g) 표준 PAD 사이즈(1mm 두께 x 10mm 지름)
접착력 테스트(수평) Alignment Miss 없이, 수평 이동 속도@ 10,000mm/sec 2.1N/c㎡ (1 Point), 6.3 N/c㎡ (3 Points), 수평 접착력
접착력 테스트 (수직) Alignment Miss 없이, 수직 이동 속도@ 500 mm/sec 2.1N ≤ 수직 접착력
일관성 테스트 @ 150,000 사이클 오염, 파티클, 접착력 변화 없음 @ (200 cycle/hr)*(24hrs)*(365 days) 실제 사용 환경에서 100 % 샘플 통과
오염 방지 테스트 Outgassing, 화학 반응, 마찰 없음, 파티클 유입 시 Cleaning SOP IPA, N2 Blower, DI Water 를 이용한 손쉬운 클리닝
내 화학성 우수 (IPA, 아세톤 36 시간 이상 Test)P
고온 테스트 특성 변화 없음@ ~250˚C, Clean room (class < 1000) 5 시간 이상 280 °C까지 특성 변화 없음

GN-PAD 접착 일관성 테스트

GN-PAD Alignment 테스트

GN- PAD 실제 적용 제품